和远气体拟投资6.84亿元扩建电子级三氟化氮项目，公司货币资金还有1.83亿元，无交易性金融资产

2026/3/3 17:33:32 挖贝网周路遥

2026年3月3日，和远气体（002971.SZ）发布公告称，根据市场行情并结合公司实际情况，公司拟投资6.84亿元扩建的4500吨/年电子级三氟化氮项目。该项目分两期建设，建设期三年，资金来源为控股子公司和远新材料自筹。

公开资料显示，电子级三氟化氮（NF3）是一种常温常压下呈无色透明的气体，分子量为71.002，沸点为-129.06℃。该气体在微电子工业中主要用于等离子蚀刻工艺，其分解产生的活性氟离子可对硅、氮化硅等材料实现高选择性蚀刻且无残留。

另外，根据公告，和远气体此次扩建的4500吨/年电子级三氟化氮项目，是在宜昌产业园项目建设基础上扩建的项目。宜昌产业园项目占地880亩，分两期建设，规划的主要产品为“电子级三氟化氮、六氟化钨、三氯氢硅、二氯二氢硅、四氯化硅、硅烷、乙硅烷等电子特气，以及氨基、乙烯基、环氧基、酰氧基、烷基、苯基、硫基等系列硅基功能性新材料”等产品。截至本公告披露日，上述所规划的产品正在分批试生产，预计今年将逐步达到“投产-稳产”的目标。

资料显示，湖北和远气体股份有限公司的主营业务是各类气体产品的研发、生产、销售、服务以及工业尾气回收循环利用。公司的主要产品是大宗气体、电子特气及电子化学品、硅基功能性新材料、尾气回收、清洁能源、工业级化学品。

截至2025年9月30日，和远气体货币资金为1.83亿元，同时公司没有交易性金融资产。

和远气体三氟化氮